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半导体高纯液体化学品检测服务是对半导体制造中使用的高纯化学品进行检测和分析的服务。这些化学品通常被用于半导体工艺中的刻蚀、清洗、沉积等步骤。半导体高纯液体化学品检测服务可以通过各种分析方法,如质谱、红外光谱、核磁共振等,检测化学品中的杂质、含量、纯度等,以确保化学品的质量和适用性。

液态高纯试剂,其等级根据纯度分为UP-S、UP、EL三个等级,其中EL又划分为:

电子级1级(EL-Ⅰ)其金属杂质含量为100--1000 PPb,相当SEMI C1 C2标准;

电子级2级(EL-Ⅱ)其金属杂质含量为10--100 PPb,,相当SEMI C7标准;

电子级3级(EL-Ⅲ)其金属杂质含量为1--10 PPb,相当SEMI C7标准;

电子级4级(EL-Ⅳ)其金属杂质含量为0.1--1PPb,相当SEMI C8标准;

 

工艺化学品 SEMI 国际标准等级

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超纯液体化学品检测.png