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晶圆表面有机分析对半导体晶圆表面有机物的分析和检测。这包括使用各种表面分析技术和设备,如X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)等,来确定晶圆表面的有机物含量和性质。